Ciri-ciri sistem pemeriksaan wafer Olympus 8 inci

● Pelbagai penyesuaian dan fleksibel, sistem pemeriksaan wafer Olympus 8 inci mempunyai kegunaan dan kebolehpercayaan yang tinggi.

● Sistem pemeriksaan wafer Olympus 8 inci menghantar pelbagai saiz silikon

Berdasarkan saiz silikon, sistem pemeriksaan wafer siri AL120 tersedia dalam 3 model asas, satu 200mm (AL120-L8), 150mm dan 200mm serasi (AL120-L86), satu 150mm atau kurang saiz (AL120-L6). Setiap unit direka untuk menghantar silikon yang telah dijalani pemeriksaan mikroskop. Makro hadapan dan makro belakang boleh digunakan dengan pelbagai saiz silikon.

● Sistem pemeriksaan wafer Olympus 8 inci boleh menghantar silikon tipis, iaitu tipis hingga 90um

Untuk menangani silikon ultra-tipis yang lebih mencabar, sistem pemeriksaan wafer Olympus direka khusus untuk lengan pemindahan yang boleh menangani kotak 200mm dengan 25 keping dan silikon tipis hingga 90um dan menyelesaikan pemindahan selamat dan pemeriksaan mikroskop. Maklumat silikon ketebalan yang berbeza sehingga 10 boleh ditetapkan melalui panel.

● Keupayaan yang tepat untuk meningkatkan fungsi pemeriksaan makro

Mesin baru dengan fungsi pemeriksaan makro (jenis LMB) mempunyai rotasi automatik 360 darjah untuk menyelesaikan pemeriksaan makro setiap sisi silikon. Reka bentuk ini memudahkan untuk menemui kecacatan dan zarah pada sisi positif dan sebalik silikon. Selain itu, silikon boleh miring 30 darjah untuk pemeriksaan makro dengan menggunakan shaker.

● Paparan LCD untuk ketepatan dan kemudahan operasi

Paparan LCD memberikan perasaan visual yang lebih intuitif kepada pengendali, menjadikan item dan urutan pemeriksaan sistem wafer Olympus jelas dan parameter yang diperlukan untuk pemasangan dan debugging juga jelas dalam sekejap. Hasil pemeriksaan, termasuk tanda kecacatan makro dan mikro yang dimasukkan oleh pengendali, boleh dipaparkan pada paparan LCD untuk memudahkan pengendali untuk mengkaji semula.

• Kebolehpercayaan yang tepat

Untuk keselamatan silikon, sistem pemeriksaan wafer siri AL120 menggunakan dua kaedah pengesanan silikon baru: ketebalan silikon dan kedudukan dalam kotak. Imbas lokasi silikon dalam kotak sebelum pemindahan. Fungsi kunci automatik meja pengangkut pilihan meningkatkan keselamatan pemindahan silikon ke meja pengangkut vakum.

Mikroskop yang kuat dan boleh dipercayai

Mikroskop Pemeriksaan Semikonduktor Olympus MX61 boleh menghasilkan imej dengan definisi tinggi dan resolusi tinggi melalui pelbagai cara pemerhatian: medan terang, medan gelap, gangguan diferensial, inframerah dan ultraungu dalam. Dilengkapi dengan pinggan putaran objektif elektrik, dengan apertur lampu hos mikroskop mempunyai fungsi penghubungan, setiap pertukaran objektif, apertur lampu juga akan berubah secara automatik.

Mematuhi piawaian SEMI S2/S8 dan RoHS

Sistem pemeriksaan wafer siri AL120 direka bukan sahaja memberi perhatian kepada keselamatan siri silikon dalam penghantaran, tetapi juga menjamin keselamatan pengendali, sepenuhnya mematuhi piawaian S2 dan S8 SEMI, dan juga memenuhi piawaian Rohs.

Spesifikasi Teknikal Sistem Pemeriksaan Wafer Olympus 8 Inch