Ahli VIP
Pengepapan pemanasan padat siri LSC
Pengepapan pemanasan padat siri LSC
Perincian produk
- Penggasan aliran besar
- LSC-A100 menyediakan penggasan stabil untuk bahan-bahan seperti TEOS 600SCCM dan H2O 2SLM
- Semua penyelenggaraan peranti boleh dilakukan di hujung hadapan peranti
- PDA tangan pilihan untuk memantau keadaan LSC dan merekodkan dan menganalisis log berjalan

Penyelidikan dalam talian
